真空镀膜机的组成和工作原理

评论: 0 浏览:27 发表于:2021-09-10
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摘要:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜设备,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜设备,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

真空镀膜机,镀膜机是目前制作真空条件应用广泛的设备。其相关组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统

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