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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜设备，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统。
真空镀膜机的组成和工作原理
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发表于：2021-09-10
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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜设备，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
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