油增压泵的工作原理

作者:dream stars 评论: 0 浏览:1058 发表于:2021-04-14
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摘要:

油增压泵属喷射泵的一种,其工作压强规模为10–1~10–4Torr,在10–2~10–3 Torr压强规模内有较大的抽速,能够作为油扩散泵的前级真空泵。它重要由泵体、喷射器、导流管、锅炉及回油管组成;喷射器由拉瓦尔喷管和超音速扩压管组成。为进步泵壁处蒸汽密

  油增压泵属喷射泵的一种,其工作压强规模为10–1~10–4Torr,在10–2~10–3 Torr压强规模内有较大的抽速,能够作为油扩散泵的前级真空泵。它重要由泵体、喷射器、导流管、锅炉及回油管组成;喷射器由拉瓦尔喷管和超音速扩压管组成。为进步泵壁处蒸汽密度,泵体做成圆锥形。油锅(锅炉)压力较高,要有较大的油锅高度和回油高度。

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  油增压泵的工作原理与油扩散泵相似,因此具有相似的特点,并且应用领域也相似。增压泵的工作原理依然是以靠工作射流来携带气体,达到抽气目标。不同点是油增压泵的射流重要是以靠被抽气体与蒸汽射流之间的粘滞摩擦来携带气体进行抽气。为使油增压泵能在较高的压强区域内工作,必需增大蒸汽射流强度(密度),所以油增压泵的加热功率要比同容量的油扩散泵大得多。只是油增压泵工作压强范围比油扩散泵高(10~10-2Pa),所以油增压泵除作主泵外,还可作油扩散泵的前级泵,起增压作用。

  油增压泵的应用领域与油扩散泵相似,它可以广泛应用于冶金、电子、化工、原子能工业、空间模拟试验的各种真空炉和各种工艺过程放气量较大的中真空镀膜机及其它真空应用装置,是中真空理想的获得设备。油增压泵是蒸汽流泵的一种,是利用室温下饱和蒸汽压强低于5×10Pa的增压泵油,加热到工作温度后所产生的大量油蒸汽,分别由各级喷嘴喷出而得到的高速蒸汽射流作为介质。


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