膜厚测量仪原理

　　在铁基或铝基材料表面涂镀膜是一种重要的表面加工技术，膜的厚度直接影响其性能，故需对其进行有效的测量。锂电池材料的生产中，无论是隔膜材料的生产或者涂布，还是正负极材料在箔材上的涂布，都需要用到***准确的大成精密测厚设备，才能保证锂电材料的生产质量。常用的方法就是使用膜厚仪直接进行无损测试，那么膜厚测量仪的原理是什么呢?

　　膜厚仪又名膜厚测试仪，分为手持式和台式二种，手持式又有磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理是，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。

　　在被测量的薄膜上垂直照射可视光，光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层之间的界面反射，薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理，它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随薄膜的不同而变化，根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。

　　膜厚仪的磁感应测量原理