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超声波通过液体传播，使液体和清洗槽一起以超声频率振动，液体和清洗槽一起以其固有频率振动，这就是人们听到的嗡嗡声。由于清洗行业的不断发展，超声波清洗机被越来越多的行业和企业所采用。
超声波清洗机的原则：
超声清洗机的工作原理主要是利用超声频振在液体中产生的激波和空泡作用。超声波清洗时，变频器把电源提供的电能转换成超声波机械振动，然后把这种振动传给清洗液。声波在液体中传播时，会出现气泡，这一现象，它在周围产生数千个气压，破坏不溶性污物，并将其分散到清洗液中。蒸气型气泡对污物层的直接反复冲击，一方面破坏了污物从清洗件表面的吸附，另一方面也会导致污物层的破坏和分离。气泡振动可对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡还可“钻入”缝隙中作振动，使污层脱落。
因为超声波的存在，两种液体在界面上迅速分散而被乳化。由于固体颗粒被油污包裹而粘附在清洗剂表面，油污被乳化，因此固体颗粒声流和辐射压是由大振幅波在煤体中传播所引起的一种非线性现象。气泡在振动过程中会产生液体介质自身的循环流动，称为声流，这种循环可以使流动气泡表面产生较高的速度梯度，并对清洗件表面的污物造成较大的破坏和脱落。超声波空化在固体和液体的界面上产生的高速微射流，可以除去或削弱边界污层，腐蚀固体表面，增加搅动作用，加快溶解可溶性污物，加强化学清洗剂的清洗作用，此外，超声波振动还可使洗涤液中的起点振动速度和加速度很大，也使洗件表面的污物经常被剧烈地冲刷。
以上可以理解为，在超声波清洗的过程中，将产生空泡、辐射压、声流等物理效应。物理化学效应对污物有机械剥落作用，同时促进了洗涤液与污物的反应，其中空化效应是产生超声波洗涤过程的主要因素。
超声清洗机使用方法：不同型号的超声清洗仪，在使用上有不同的要求，应根据清洗机说明书的要求安装使用，使用方法大致如下：
1.首先将发电机和清洗槽接通，接通电源。
2.将清洗槽中的水倒入大约20-40毫米深的水中。
3.打开电源开关，指示灯亮，预热1—2分钟即可开始工作(有些机器先开低电压，10分钟预热，再开高电压开关)。
4.旋转功率调节旋钮，使振动和气泡增大，此时显示安培计读数也接近增大。接着重新调整电源，使清洁器进入正常工作状态。将装有硅片及清洗液的烧杯放入清洗槽内，即可进行硅片清洗。