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工业加湿器在我们现在的很多生产车间是***的机器,主要就是用来控制整个车间的环境,特别是对于无尘车间的作用更加的明显,那么你知道主要表现在哪里吗?
湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。对于半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许的误差是在±1%的狭窄的范围内的,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括:细菌生长;工作人员感到室温舒适的范围;出现静电荷;金属腐蚀;水汽冷凝;光刻的退化;吸水性等方面。
细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至非常低。