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设备名称.Gener- 1300
1.真空室SUS304 φ 1300X 1500mm (H)
工件架 φ 1200mm
工件架转速 30rpm(可调)
晶振式膜厚计 |XTC/C+6点式晶振探头
蒸发源 电子枪1套台
2.性能
极限真空7.0E- -5Pa以下
抽气时间< 10分钟(大气压~3.0E- -3Pa)
加热温度: 350°C
3.工作条件
安装空间约4500mm (W) x 6000mm (D) x 3200mm (H)
消耗电力|3相, 200VAC, 50/60Hz, 约70KVA
冷却水流量100升/分以上
压缩空气压力0.5~0. 7MPa
总重量约7000kg
设备名称.Gener- 1300
1.真空室SUS304 φ 1300X 1500mm (H)
工件架 φ 1200mm
工件架转速 30rpm(可调)
晶振式膜厚计 |XTC/C+6点式晶振探头
蒸发源 电子枪1套台
2.性能
极限真空7.0E- -5Pa以下
抽气时间< 10分钟(大气压~3.0E- -3Pa)
加热温度: 350°C
3.工作条件
安装空间约4500mm (W) x 6000mm (D) x 3200mm (H)
消耗电力|3相, 200VAC, 50/60Hz, 约70KVA
冷却水流量100升/分以上
压缩空气压力0.5~0. 7MPa
总重量约7000kg