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下面我将详细介绍各部分的组成及工作原理。
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用较多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成
真空镀膜机的组成和工作原理
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发表于：2021-09-10
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